超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

　　一、5T/H超純水設備產水指標

　　電阻率@25℃：大于等于10MΩ·cm

　　PH值：6.6-7.4

　　細菌總數：<9個/ml

　　微粒(>0.22µm )：≤500個/L

　　總有機碳：≤100ppb

　　二、5T/H超純水設備工藝

　　原水箱→增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水器→一級RO主機→一級純水箱→二級RO主機→二級純水箱→增壓泵→紫外線殺菌器→膜濾器→EDI系統→TOC脫除器+脫氣膜+拋光混床→終端膜濾器

　　三、5T/H超純水設備組成

　　1、原水箱

　　原水箱主要起到緩沖和調節進水量的作用，防止進水水量和水壓不穩定對設備造成的損壞和影響。

　　2、原水泵

　　原水泵從原水箱取水，對水箱內的水增壓，達到后續設備的運行的壓力和水量的要求。

　　3、石英砂過濾器

　　石英砂過濾器中通過裝填不同粒徑的高純度的石英砂對原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質進行過濾，同時對原水中的濁度起到降低作用。

　　4、活性炭過濾器

　　活性炭過濾器系統是利用活性炭吸附機理，引起吸附的主要原因在于溶質對水的疏水特性和溶質對固體顆粒的高度親和力。活性炭過濾器能夠吸附水中的有機物，膠體和余氯等。去除各種溶解性的有機物。還能去除水中的臭味、色度、以及殘留的濁度。

　　5、保安過濾器

　　在RO裝置之前設置保安過濾器，目的是防止水中的大顆粒物進入反滲透膜，損壞反滲透膜，確保RO的正常運行。

　　6、立式高壓泵

　　反滲透的使用過程中，水的流向和運動是逆自然滲透的，要改變這種逆自然的滲透，必須給液體一個動力，使它改變自然滲透過程中，淡水向濃水方向運動，鹽份向淡水方向滲透的規律，而提高這個動力有效的措施是增加外界壓力，高壓泵為反滲透膜組提供足夠的進水壓力，維持反滲透膜的正常運行。

　　7、反滲透系統

　　反滲透(RO)系統利用反向滲透原理，主要去除水中溶解鹽類，同時去除一些大分子和預處理未去除的小顆粒等。其功能是對經過預處理的產水進行脫鹽。

　　8、RO產水箱

　　RO產水箱主要起到緩沖和調節水量的作用。

　　9、紫外線殺菌器

　　紫外線殺菌器，其優點為輻照強度穩定性高，殺菌壽命長達9000小時，高透過率石英玻璃管，透光率≥87%，單價也比同類產品適中，殺菌壽命達8000小時后，其輻照強度在253.7um保持穩定不變，比國內同類產品輻照強度穩定不變。與國外同類產品相比殺菌強度提高了18%-27%，殺菌率能夠達到99.99%。

　　10、EDI系統

　　一般自然水源中存在鈉、鈣、鎂、氯化物、硝酸鹽、碳酸氫鹽等溶解物，這些化合物由帶負電荷的陰離子和帶正電荷的陽離子組成。通過反滲透(RO)的處理，95%～99%以上的離子可以被去除，RO純水(EDI給水)電阻率的一般范圍是0.05～1.0MΩ.cm，即電導率的范圍為20～1μS/cm。根據應用的情況，去離子水電阻率的范圍一般為5～18MΩ.cm。另外，原水中也可能包括其它微量元素、溶解的氣體(例如CO2)和一些弱電解質(例如硼、二氧化硅)，這些雜質在工業除鹽水中必須被除掉，但是反滲透過程對于這些雜質的清除效果較差。因此，EDI的作用就是通過除去電解質(包括弱電解質)的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。

　　11、TOC脫除器

　　其殺菌原理與紫外線殺菌器相同，但是TOC脫除器使用的是185nm的紫外線，相比于253.7nm的紫外線具有更高的能量，可以深度降解水源中的TOC，最小可控制產水TOC在5PPb以內。

　　四、5T/H超純水設備優勢

　　設備主要采用EDI和反滲透技術，產水可以達到15兆歐以上，出水水質完全符合半電子廠的用水標準。設備具有結構合理簡單、連續運行、操作方便、、自動化程度高、使用壽命長、自動化運行、占地面積小、出水水質高等優勢。

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